シミュレータ

Virtual Lithography Simulator 

シミュレーション・ツールは実世界の近似で、リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないものです。以下のようなシミュレータをラインアップしています。

リソグラフィ・シミュレータ -Real Virtual Patterning-

PROLITH 2019b

概要

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

システム要件

【CPU】

2.0 GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows Server 2008 R2 with SP1 (64bit)

Microsoft Windows Server 2012 R2 with Updates (64bit)

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise (64bit)

【メモリ】

8 GB以上

【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに120 MB以上の空き容量

【ディスプレイ】

1024 x 768以上の解像度のモニター

【その他】

Microsoft Internet Explorer 11 or later

 

KLA株式会社(英語サイト)

アプリケーション

・最先端のリソグラフィ技術
10nmノード以下のリソグラフィ・プロセスの開発、EUVリソグラフィの評価、マルチ・パターニング・リソグラフィ技術に対応。

・基板段差
基板段差の設定が簡単にでき、これらにより、FinFET、STI層、インプラント層上でのレジスト形状のシミュレーションを、より正確に予測することを可能にします。
Resist Profile Output
関連画像

Process Window

関連画像

Aerial Image


クリックすると拡大します



CD解析ソフトウェア

ProDATA

概要

ProDATAはお持ちのデータを素早く簡単に解析することができるツールです。ProDATAは実測データでもシミュレーションデータでもコントラスト曲線、スイングカーブ、FEMを解析します。これらの結果を基に、プロセスの決定を行なう事ができます。

システム要件

【CPU】

 2.0GHz 以上のマルチ・プロセッサ

【OS】

Microsoft Windows 7 Professional and Enterprise editions

Microsoft Windows Server 2008 R2 Enterprise Edition

Microsoft Windows 10 Pro and Enterprise editions

※それぞれ、32ビット版、64ビット版ともに対応しています。

【メモリ】
   4 GB以上
       (さらに、256 MB以上の仮想メモリ)

【ハードディスク】

PROLITHのインストールドライブに16 GB以上の空き容量

【ディスプレイ】
   1280 x 1024 以上の解像度のモニター

【その他】
   Microsoft Internet Explorer 11

 

 

KLA株式会社(英語サイト)

アプリケーション

・ステッパ条件
・新規プロセスの最適化
・新規レティクルの検証
・フォトツールモニタリング用のデータ解析
・フォトレジストの性能比較
・リソグラフィデータの仮想化と解析
・リソグラフィ材料の適切な膜厚決定
Process Window
関連画像

EL vs. DOF


クリックすると拡大します