標準システムとして、出力ウィンドウを備えたランプハウス、電源 兼 20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99Xはランプハウス内部で発生したプラズマ光を、出力ウィンドウから直接出力するモデルとなります。出力ウィンドウの材質は、標準で石英、オプションでMgF2, BK7, long pass 190nmウィンドウに変更可能です。EQ-99Xは、従来品のEQ-99とランプハウスのハウジングコート材が異なり、UV照射光によるコート材からの汚染物質発生を低減したウルトラクリーンで長寿命なモデルとなります。

・波長帯域：　　　　　　　　　170nm〜2100nm (使用ウィンドウなどに依存)

・広帯域光出力：　　　　　　　〜0.5W (代表値)

・スペクトル放射輝度：　　　　〜10mW/mm².sr.nm(代表値)

・発光点サイズ：　　　　　　　約0.1〜0.2mmφ

・インターフェース：　　　　　NA 0.47

・発光点位置安定性：　　　　　±0.4μm

・ランプ寿命：　　　　　　　　9,000時間以上(※)

・サイズ＆ウェイト：　　　　　[ランプハウス] 82.3×85.7×76.2(mm), 0.7kg
　　　　　　　　　　　　  　　 [パワーサプライ] 107×111×254(mm), 1.4kg

・コンプライアンス：　　　　　CEマーク, クラス1レーザー製品

(※) 代表値でありメーカー保証値ではありません。

標準システムとして、出力用ファイバー接続ポートを備えたランプハウス、電源 兼 20Wの励起レーザ源であるパワーサプライ、プラズマ点灯のON/OFFコントロールを行うリモートコントローラで構成されます。EQ-99XFCはランプハウス上部の出力用ファイバーから光を出力するモデルとなります。また、ランプハウス内部に、long pass 190nm フィルタを搭載しており、190nm以下のDUVをカットする事で、DUVによるファイバーの劣化(ソラリゼーション)を低減するつくりとなります。ランプハウスのファイバー接続部は、接続位置再現性に優れたFC接続を採用し、ファイバーはUV劣化耐性を有するUV-VIS用ファイバーとVIS－NIRレンジで使用可能なBroadband用の2種類を取り扱っております。

・波長帯域：　　　　　　　　　200nm〜2100nm (使用ファイバーに依存)

・広帯域光出力：　　　　　　　〜80mW (※1)

・スペクトル放射輝度：　　　　〜60μW/nm(※1)

・発光点サイズ：　　　　　　　約0.1〜0.2mmφ

・インターフェース：　　　　　NA 0.22 (※1)

・発光点位置安定性：　　　　　±0.4μm

・ランプ寿命：　　　　　　　　9,000時間以上(※2)

・サイズ＆ウェイト：　　　　　[ランプハウス] 82.3×85.7×76.2(mm), 0.7kg
　　　　　　　　　　　　　　　[パワーサプライ] 107×111×254(mm), 1.4kg

・コンプライアンス：　　　　　CEマーク, クラス1レーザー製品

 

(※1) 230μmφファイバー使用時
(※2) 代表値でありメーカー保証値ではありません。

EQ-99シリーズでは、ランプハウスとパワーサプライ(電源および励起レーザー)は別ユニットとして構成され、ランプハウス - パワーサプライ間の励起レーザー供給にファイバーケーブルを用いたつくりとなります。
OEM専用のLDLSでは、励起レーザーはランプハウスに内蔵され、励起レーザー、レーザー光学系およびランプバルブが一体となった効率のよいモデルとなっています。OEM専用モデルでは、それぞれEQ-9(20Wレーザ搭載), EQ-77(50Wレーザ搭載), EQ-400(400Wレーザ搭載)として、励起レーザの出力向上により、アウトプット出力を向上させたものをご用意しております。また、各OEM専用LDLSでは、出力ウィンドウの背部にレトロリフレクタを搭載することにより、アウトプット出力が最大1.4倍向上することが可能です。
詳細については、お気軽にお問合せ下さい。