レジスト評価システムレジスト評価ツール　

フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。
例えば、レジストの脱保護反応を解析する装置、環境試験装置などをラインアップしています。
さらにお客様のニーズに合わせて、これからも新たな評価装置を提案していきます。

【製品一覧】　｜ PAGA-100 ｜ ProxSim II

脱保護反応解析装置

PAGA-100

概要

FT-IRスペクトロメータに露光機能、ベーク機能を搭載し、露光中のPAGの分解や、PEB中の保護基の脱離の様子を観察します。
リソグラフィ・シミュレータで必要な脱保護反応パラメータの算出が可能です。　

特長

露光機能：　　　　246, 365, 405, 436 nm、およびブロード光
　　　　　　　　　（フィルタによる選択）
照度：　　　　　　1 mW/cm²
露光エリア：　　　10 mmΦ
ベーク機能：　　　室温～ 150 ℃
適用レジスト膜厚：200 nm ～ 80 μm

オプション：　　　超薄膜対応ユニット
　　　　　　　　　（レジスト厚さ 50 nm ～ 200 nm）