ミニマルファブ　minimal fab

リソテックジャパンでは、ミニマルファブ技術研究組合に参加し、ミニマル※1のレジストコータ及びデベロッパの開発を行っています。ミニマルファブは、世界中で使っていただける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。
研究開発、試作、少量多品種生産向けに、必要な生産量や目的に合わせた設備規模や投資額に抑えられます。　ミニマルについての詳細は、ミニマルファブ技術研究組合までお問い合わせください。
※1「ミニマル」は、独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。

ミニマルコータ＆デベロッパ　minimal coater & developer

0.5インチウェーハの
レジストパターニング例

ミニマルコータは、従来のスピンコーティング法を用いながらも当社の独自技術により、0.5インチウェーハ上に均一なレジスト塗布やエッジリンス処理が行えるように開発しています。また、ミニマルデベロッパは、パドル現像方式を採用し 0.5インチウェーハ上での均一な現像を目指しています。
ミニマルコータ・デベロッパでは、0.5インチウェーハに対応させるための独自のレジスト処理方法や、限られたプロセスエリアにスピン塗布ユニット/スピン現像ユニット、ベークプレート、HMDSベークユニット等を小型化し搭載しました。

ミニマルコータ/デベロッパ仕様
基板	0.5インチウェーハ
基板搬送	ミニマルシャトル＆搬送システム PLAD 独自の局所クリーン化技術によりクリーンルーム不要
装置サイズ	294mm(W) × 450mm(D) × 1,440mm(H)