リソグラフィ・シミュレータの概要

リソグラフィ・シミュレータとは、露光装置の振る舞いとレジスト（感光性を持つ有機材料）の振る舞いを計算するツールです。実際のプロセスにおけるパラメータを入力することにより、レジストに像が形成される過程をコンピュータ上に再現し、最適なプロセス条件を効率的に見つけることができます。
シミュレータには、実際のリソグラフィ・プロセスと同様さまざまな設定を行なうことができます。以下の図で、現像後のレジスト形状をシミュレーションするまでの流れを説明します。

1. 光学系
入力	【照明】 ・照明形状 ・コヒーレンス・ファクタ 【マスク（レティクル）】 ・マスクパターン ・マスクの要素属性	【結像光学系】 ・開口数・フォーカス ・収差・フレア ・その他
光学計算 出力情報	【空中像】 回折理論やMaxwellの方程式に基づいて計算された空中像。

2. レジスト
入力	・膜厚 ・屈折率 ・DillのABCパラメータ	・PEB温度 ・酸の拡散長 ・その他
潜像計算 出力情報	【露光後の潜像】 露光でレジスト膜内に生じる化学変化が、可視化されます。基板からの反射により定在波が発生すれば、それも考慮されます。 【PEB後の潜像】 PEBによる感光剤分布の変化が可視化されます。

3. 現像
入力	・現像時間 ・現像速度パラメータ ・その他
現像計算 出力情報