枚葉式HMDSベーク装置
・基板サイズ | 2インチ~300mmウェーハ |
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・ベーク温度 | 60~150℃ |
・搬送方式 | マニュアルウェーハローダー (オプション:オートローダー) |
・HMDS供給 | 内蔵バブリングシステム |
バッチ式HMDS処理装置
到達真空 :10-1 Torr
設定温度 :80 ~ 200 ℃
HMDSガス :バブリング方式
サンプルサイズ :標準6インチカセット2個 (特注 8インチカセット1個)
装置サイズ :W1450 × D600 × H1750
電源 :200 V / 30 A