ナノインプリント

ナノインプリント装置 及び関連装置 

近年、低コストで高解像性が望めるナノインプリント技術が注目を集めています。当社では、樹脂やナノインプリントプロセス評価用など、用途に合わせたナノインプリント評価装置をラインアップしております。

実験用簡易UVナノインプリント装置

LTNIP-500

概要

実験用簡易UVナノインプリント装置です。
プレスしながらUV照射を行ないます。

特長

モールドサイズ: 25 mm ~ 40 mm
ウェハサイズ:  4 インチ ~ 6 インチ Si
UV照度:    0.5 mW/c㎡

オプション:   HP機能、脱気ユニット