マニュアル式の高精度200℃プロキシミティベーク装置です。LWB-03Hは、最大400℃までの仕様に対応いたします。各種基板形状に合わせたベークプレートやリフトピンを用意しています。

■LWB-03　　マニュアル200℃ベーク装置

　　　　　　　基板サイズに合わせて4インチ仕様、8インチ仕様、300mm

　　　　　　　仕様を用意しています。

■LWB-03H　マニュアル高温ベーク装置

　　　　　　　200℃から400℃までの範囲で上限温度や排気方法をご指

　　　　　　　定いただけます。

■LWC-03　　マニュアルクーリング装置

　　　　　　　ベーク処理後のウェーハ冷却や塗布前のウェーハ温度制御

　　　　　　　にお使いいただけます。

高性能200℃ベークプレートとクーリングプレートを混載したマニュアルベーク装置です。自動搬送仕様モデルは、ベーク処理後にクーリングプレートへ基板を受渡し冷却するため、安全な操作が行えます。また、PEBの熱履歴管理にも非常に有効です。その他、複数のベークプレートや200℃以上の高温ベークプレート等自由な組合せが可能で、様々なベーク処理や塗布前のウェーハ温調にもご活用いただけます。