シミュレータ

Computational Metrology　

CD-SEMで観察した画像から、ラフネスを測定/解析するソフトウェアです。

ラフネス解析ツール

MetroLER

概要

FRACTILIA社の特許技術 FILM により、さまざまな測定条件下のSEM画像からでも、正確にパターンのエッジを求めることができるツールです。

特長

詳細は、以下のサイトにアクセスしてください。

 

FRACTILIA社（英語サイト）